| 发明名称 | 用于抛光铜基金属的浆 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于抛光铜基金属的浆，包括二氧化硅抛光材料，氧化剂，氨基酸，三唑类化合物和水，其中，所述氨基酸与所述三唑类化合物的含量比(氨基酸/三唑类化合物(重量比))为5-8。 | ||
| 申请公布号 | CN1289620C | 申请公布日期 | 2006.12.13 |
| 申请号 | CN03152491.5 | 申请日期 | 2003.08.01 |
| 申请人 | 恩益禧电子股份有限公司;东京磁气印刷株式会社 | 发明人 | 土屋泰章;井上智子;樱井伸;青柳健一;板仓哲之 |
| 分类号 | C09G1/02(2006.01) | 主分类号 | C09G1/02(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 穆德骏;王维玉 |
| 主权项 | 1.一种用于抛光铜基金属的浆，包括二氧化硅抛光材料，氧化剂，氨基酸，三唑类化合物和水，其中，所述氨基酸与所述三唑类化合物的含量比(氨基酸/三唑类化合物(重量比))为5-8，其中所述氨基酸为甘氨酸，所述三唑类化合物选自1，2，3-三唑、1，2，4-三唑和它们的具有至少一个连接到五元杂环碳原子上的取代基的衍生物，所述的取代基选自烷氧基、烷基和卤素原子，所述三唑类化合物的含量为不低于0.05重量％，但不超过0.5重量％，和所述浆的pH值在5-7范围内。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||