发明名称 化合物半导体衬底、外延衬底、制造化合物半导体衬底和外延衬底的方法
摘要 本发明涉及化合物半导体衬底,其包括由p型化合物半导体构成的衬底;和包含p型杂质原子的物质,该物质结合在所述衬底的表面上。
申请公布号 CN1877854A 申请公布日期 2006.12.13
申请号 CN200610091740.6 申请日期 2006.06.12
申请人 住友电气工业株式会社 发明人 西浦隆幸;堀江裕介;坪仓光隆;大滨理
分类号 H01L29/12(2006.01);H01L31/0256(2006.01);H01L33/00(2006.01);H01L21/00(2006.01);H01L21/302(2006.01);H01L21/306(2006.01) 主分类号 H01L29/12(2006.01)
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 王海川;樊卫民
主权项 1.化合物半导体衬底,包括:由p型化合物半导体构成的衬底;和包含p型杂质原子的物质,该物质结合在所述衬底的表面上。
地址 日本大阪府大阪市