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发明名称
SEMICONDUCTOR PROCESSING SYSTEM AND SEMICONDUCTOR CARRYING MECHANISM
摘要
申请公布号
KR100657055(B1)
申请公布日期
2006.12.12
申请号
KR20047010668
申请日期
2003.01.07
申请人
发明人
分类号
B65G49/07;H01L21/68;H01L21/677
主分类号
B65G49/07
代理机构
代理人
主权项
地址
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