| 主权项 |
1.一种半导体制造装置,包含:一反应室;一控制器模组,包括:多数的控制器,控制该反应室的内部条件;一控制箱,位于该反应室之外,其中,该多个控制器的各个分别装置于该控制箱中;和一控制箱支持器,其中该控制箱装载于该控制箱支持器之上,并在该控制箱支持器上滑动。2.如申请专利范围第1项之半导体制造装置,其中该控制箱支持器包含一滑动装置,用以使该控制箱在该控制箱支持器上滑动。3.如申请专利范围第2项之半导体制造装置,其中该滑动装置是一个线性运动系统。4.如申请专利范围第3项之半导体制造装置,其中该线性运动系统包含:一导引轨道;和一移动本体,依附于该控制箱的一个底部。图式简单说明:图1是一典型半导体制造装置的透视图。图2是根据本发明的一个用于半导体制造装置的一控制器模组。 |
