发明名称 发光装置、液晶显示装置及其制造方法
摘要 本发明提供了一种半导体装置的结构及其制造方法,该半导体装置即使在显示幕尺寸增加时也能实现低耗电。本发明形成一绝缘层,在绝缘层中形成掩埋连接线(为 Cu、Au、Ag、Ni、Cr、Pd、Rh、Sn、Pb或其合金)。进一步,在平面化绝缘层表面之后,在曝露部分中形成金属保护膜(Ti、TiN、Ta、TaN或类似物)。藉由在发光装置或液晶显示装置的各种线(闸极线、源极线、电源线、公用线等等)的部分中使用掩埋连接线,降低了线电阻。
申请公布号 TWI268635 申请公布日期 2006.12.11
申请号 TW092106853 申请日期 2003.03.25
申请人 半导体能源研究所股份有限公司 发明人 高山彻;山崎舜平
分类号 H01L51/00(2006.01) 主分类号 H01L51/00(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 1.一种发光装置,包括:基底,具有绝缘表面;具有透光性的第二基底;像素区域,具有多个发光元件,该发光元件具有第一电极、位于第一电极上并与其相接触的包含有机化合物的层、和位于包含有机化合物的层上并与其相接触的第二电极;和驱动电路,具有薄膜电晶体;其中,像素区域排列有掩埋连接线制成的闸极线、源极线或电源线。2.如申请专利范围第1项的发光装置,其中,该掩埋连接线包括选自铜、银、金和其合金组成的族群中的至少一材料。3.如申请专利范围第1项的发光装置,其中,该掩埋连接线位于薄膜电晶体下面的层中。4.如申请专利范围第1项的发光装置,其中,该包含有机化合物的层为用于白光发射的材料,并且与位于第二基底上的滤色片结合。5.如申请专利范围第1项的发光装置,其中,该包含有机化合物的层为用于单色光发射的材料,并且与位于第二基底上的颜色变换层或颜色层结合。6.如申请专利范围第1项的发光装置,其中,该发光装置并入于选自摄影机、数位相机、头戴显示器、汽车导航器、投影机、汽车音响装置、个人电脑、个人数位助理组成的族群之电子设备中。7.一种液晶显示装置,包括:第一基底,具有绝缘表面;具有透光性的第二基底;像素区域,具有第一电极、第二电极和夹在第一与第二电极之间的液晶材料;和驱动电路,具有薄膜电晶体;其中,像素区域排列有由掩埋连接线制成的闸极线或源极线。8.如申请专利范围第7项之液晶显示装置,其中,该掩埋连接线包括选自铜、银、金和其合金组成的族群中的至少一材料。9.如申请专利范围第7项之液晶显示装置,其中,该掩埋连接线位于薄膜电晶体下面的层中。10.如申请专利范围第7项之液晶显示装置,其中,该液晶显示装置并入于选自摄影机、数位相机、头戴显示器、汽车导航器、投影机、汽车音响装置、个人电脑、个人数位助理组成的族群之电子设备中。11.一种显示装置,包括:基底,具有绝缘表面;第一绝缘膜,形成于基底上;闸极线,掩埋在第一绝缘膜中;第二绝缘膜,形成于第一绝缘膜上;和薄膜电晶体,形成于第二绝缘膜上,其中,该薄膜电晶体包括具有通道区以及源极和汲极区之半导体膜、形成于该半导体膜上的闸极绝缘膜及形成于该闸极绝缘膜上的闸极电极,其中,该闸极线经由通过第二绝缘膜的连接电极而电连接到该闸极电极。12.如申请专利范围第11项之显示装置,其中,该闸极线包括选自铜、银、金和其合金组成的族群中的至少一材料。13.一种电子设备,具有如申请专利范围第11项之显示装置,其中,该电子设备是选自摄影机、数位相机、头戴显示器、汽车导航器、投影机、汽车音响装置、个人电脑、个人数位助理组成的族群。14.一种显示装置,包括:基底,具有绝缘表面;第一绝缘膜,形成于基底上;源极线,埋在第一绝缘膜中;第二绝缘膜,形成于第一绝缘膜上;和薄膜电晶体,形成于第二绝缘膜上,其中,该薄膜电晶体包括具有通道区以及源极和汲极区之半导体膜、形成于该半导体膜上的闸极绝缘膜及形成于该闸极绝缘膜上的闸极电极,其中,该源极线经由通过该第二绝缘膜和该闸极绝缘膜之连接电极而电连接到该源极区。15.如申请专利范围第14项之显示装置,其中,该源极线包括选自铜、银、金和其合金组成的族群中的至少一材料。16.一种电子设备,具有如申请专利范围第14项之显示装置,其中,该电子设备是选自摄影机、数位相机、头戴显示器、汽车导航器、投影机、汽车音响装置、个人电脑、个人数位助理组成的族群。17.一种显示装置,包括:基底,具有绝缘表面;第一绝缘膜,形成于基底上;电源线,掩埋在第一绝缘膜中;第二绝缘膜,形成于第一绝缘膜上;和薄膜电晶体,形成于第二绝缘膜上,其中,该薄膜电晶体包括具有通道区以及源极和汲极区之半导体膜、形成于该半导体膜上的闸极绝缘膜及形成于该闸极绝缘膜上的闸极电极,其中,该电源线经由通过该第二绝缘膜及该闸极绝缘膜而电连接至该源极区。18.如申请专利范围第17项之显示装置,其中,该电源线包括选自铜、银、金和其合金组成的族群中的至少一材料。19.一种电子设备,具有如申请专利范围第17项之显示装置,其中,该电子设备是选自摄影机、数位相机、头戴显示器、汽车导航器、投影机、汽车音响装置、个人电脑、个人数位助理组成的族群。20.一种制造发光装置的方法,包括:在绝缘表面上形成具有导电性的抗蚀刻层;形成覆盖抗蚀刻层的第一绝缘膜;蚀刻第一绝缘膜,开出通到抗蚀刻层的开口;形成种晶层并进行电镀,形成覆盖该开口的掩埋连接线;平面化掩埋连接线的表面;形成含有铝的第二绝缘膜;在第二绝缘膜上形成第三绝缘膜;在第三绝缘膜上形成半导体层;在半导体层上形成第四绝缘膜;在第四绝缘膜上形成闸极电极;形成连接到半导体层的线和连接掩埋连接线的线;形成第一电极;和在第一电极上形成包含有机化合物的层并在包含有机化合物的层上形成第二电极。21.如申请专利范围第20项之制造发光装置的方法,其中,该掩埋连接线为电源线。22.如申请专利范围第20项之制造发光装置的方法,其中,该掩埋连接线包括选自铜、银、金和其合金所组成的族群中之至少一材料。23.一种制造液晶显示装置的方法,包括:在绝缘表面上形成具有导电性的抗蚀刻层;形成覆盖抗蚀刻层的第一绝缘膜;蚀刻第一绝缘膜,开出通到抗蚀刻层的开口:形成种晶层并进行电镀,形成覆盖开口的掩埋连接线;平面化掩埋连接线的表面;形成含有铝的第二绝缘膜;在第二绝缘膜上形成第三绝缘膜;在第三绝缘膜上形成一个半导体层;在半导体层上形成第四绝缘膜;在第四绝缘膜上形成闸极电极;和形成连接到半导体层的源极线和连接掩埋连接线与闸极线之间的线。24.如申请专利范围第23项之制造液晶显示装置的方法,其中,该掩埋连接线为闸极线。25.如申请专利范围第23项之制造液晶显示装置的方法,其中,该掩埋连接线包括选自铜、银、金和其合金所组成的族群中之至少一材料。26.一种显示装置,包括:基底,具有绝缘表面;第一绝缘膜,形成于基底上;闸极线,掩埋在第一绝缘膜中;第二绝缘膜,形成于第一绝缘膜上;和薄膜电晶体,形成于第二绝缘膜上,其中,该薄膜电晶体包括具有通道区以及源极和汲极区之半导体膜、形成于该半导体膜上的闸极绝缘膜及形成于该闸极绝缘膜上的闸极电极;其中,该闸极线经由通过第二绝缘膜及该闸极绝缘膜的连接电极而电连接到该闸极电极。27.如申请专利范围第26项之显示装置,其中,该闸极线包括选自铜、银、金和其合金组成的族群中的至少一材料。28.一种电子设备,具有如申请专利范围第26项之显示装置,其中,该电子设备是选自摄影机、数位相机、头戴显示器、汽车导航器、投影机、汽车音响装置、个人电脑、个人数位助理组成的族群。29.一种显示装置,包括:基底,具有绝缘表面;第一绝缘膜,形成于基底上;源极线,埋在第一绝缘膜中;第二绝缘膜,形成于第一绝缘膜上;薄膜电晶体,形成于第二绝缘膜上,和形成于薄膜电晶体上的第三绝缘膜,其中,该薄膜电晶体包括具有通道区以及源极和汲极区之半导体膜、形成于该半导体膜上的闸极绝缘膜及形成于该闸极绝缘膜上的闸极电极,其中,该源极线经由通过该第二绝缘膜和第三绝缘膜之连接电极而电连接到该源极区。30.如申请专利范围第29项之显示装置,其中,该闸极线包括选自铜、银、金和其合金组成的族群中的至少一材料。31.一种电子设备,具有如申请专利范围第29项之显示装置,其中,该电子设备是选自摄影机、数位相机、头戴显示器、汽车导航器、投影机、汽车音响装置、个人电脑、个人数位助理组成的族群。图式简单说明:图1A至1E是剖面图,每一图示出了本发明(具体实施例)的制程;图2A和2B中每一图示出了本发明(实施例1)发光元件的剖面;图3为发光装置(实施例1)制程中的顶视图;图4为发光装置(实施例1)制程中的顶视图;图5为发光装置(实施例1)制程中的顶视图;图6为发光装置(实施例1)制程中的顶视图;图7A至7C中每一图示出了发光元件(实施例1)的叠层结构;图8A至8C使用白发射光进行全彩色显示情况中(实施例1)的典型图示;图9示出了彩色层(实施例1)的透射率;图10示出了色座标(实施例1);图11A和11B为主动型显示装置(实施例1)的剖面图和顶视图;图12示出了液晶显示装置(实施例2)的剖面图;图13示出了液晶显示装置(实施例2)制程中的顶视图;图14A至14C示出了电子设备的实施例;图15A和15B示出了电子设备的实施例。
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