| 主权项 |
1.一种液滴喷出装置,其系用以将液滴喷出至工件,其特征在于具有:液体收容部,其系收容液体者;喷头,其系喷出液滴者;及液体供给装置,其系配置于前述液体收容部与前述喷头之间,用以将前述液体从前述液体收容部供给至前述喷头者;前述液体供给装置具备:第一管,其系连接前述液体收容部与前述喷头之间,而供给前述液体者;第二管,其系包围前述第一管之外周者;及流体循环部,其系在形成于前述第一管与前述第二管之间之空间,收容脱气用流体,一面使经由前述第二管进入而含于前述脱气用流体之气体,脱气至前述第二管之外侧,一面使前述脱气用流体循环者。2.如请求项1之液滴喷出装置,其中前述流体循环部具有:吸引部;及循环管,其系连接于前述空间,藉由前述吸引部之吸引,使前述脱气用流体循环者;及过滤器,其系从循环之前述脱气用流体,将前述气体分离者。3.如请求项1或2之液滴喷出装置,其中为了将形成于前述第一管与前述第二管之间之前述空间,沿着长度方向保持,而于前述空间配置有空间保持具。4.如请求项3之液滴喷出装置,其中前述空间保持具系于前述第一管及前述第二管之长度方向,保持均等之间隔而配置。5.如请求项4之液滴喷出装置,其中前述空间保持具系固定于前述第一管之外周面与前述第二管之内周面之间之环状构件;前述空间保持具具有:圆形状之贯穿孔,其系用以使前述第一管穿过者;及突起部,其系于前述第一管之前述外周部与前述第二管之前述内周面之间,形成前述脱气用流体之流路者。6.如请求项1之液滴喷出装置,其中前述脱气用流体系与前述液体相同之液体或含于前述液体之溶剂。7.一种液滴喷出装置之液体供给装置,其系设置于用以将液滴从喷头喷出至工件之液滴喷出装置,并配置于液体收容部与前述喷头之间,用以将液体从前述液体收容部供给至前述喷头;其特征在于:前述液体供给装置具备:第一管,其系连接前述液体收容部与前述头部之间,而供给前述液体者;第二管,其系包围前述第一管之外周者;及流体循环部,其系在形成于前述第一管与前述第二管之间之空间,收容脱气用流体,一面使经由前述第二管进入而含于前述脱气用流体之气体,脱气至前述第二管之外侧,一面使前述脱气用流体循环者。8.一种光电装置,其系使用将液滴从喷头喷出至工件之液滴喷出装置所制造者;其特征在于:配置于液体收容部与前述喷头之间,将液体从前述液体收容部供给往前述喷头之液体供给装置系具有:第一管,其系连接前述液体收容部与前述头部之间,而供给前述液体者;及第二管,其系包围前述液体供给用之前述第一管之外周者;在形成于前述第一管与前述第二管之间之空间,收容脱气用流体,藉由流体循环部,一面使经由前述第二管进入而含于前述脱气用流体之气体,脱气至前述第二管之外侧,一面使前述脱气用流体循环,将前述液滴从前述喷头喷至前述工件而制造。9.一种电子机器,其特征在于配备如请求项8之前述光电装置。图式简单说明:图1系表示本发明之液滴喷出装置之较佳实施型态之平面图。图2系表示图1之液滴喷出装置之托架、喷头等之立体图。图3系表示从图2之E方向观看图2之托架及喷头等之正面图。图4(A)、4(B)系表示喷头之压电振动器之例及液体储留部之构造例之图。图5系表示液体供给装置、液体包及喷嘴等之立体图。图6系表示液体供给装置之流体循环部、第一管、第二管等之图。图7(A)、7(B)系表示第一管及第二管之构造例之剖面图。图8系放大表示过滤器机构部及真空泵之图。图9系表示藉由过滤器从脱气用流体将溶存气体脱气之原理之例之图。图10系表示第一管、第二管及空间保持具之例之部分缺口立体图。图11系表示第一管、第二管及空间保持具之分解立体图。图12系表示第一管、第二管及空间保持具之剖面图。图13系表示藉由本发明之液滴喷出装置所制造之有机EL装置之形状例之剖面图。图14系表示藉由本发明之液滴喷出装置所制造之液晶显示装置之构造例之剖面图。图15系表示具备藉由本发明之实施型态所制造之显示装置之电子机器之一例之行动电话之立体图。图16系表示电子机器之其他例之电脑之立体图。 |
