发明名称 MULTI-STEP, IN-SITU PAD CONDITIONING SYSTEM AND METHOD FOR CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION
摘要
申请公布号 IL177026(D0) 申请公布日期 2006.12.10
申请号 IL20060177026 申请日期 2006.07.23
申请人 TBW INDUSTRIES, INC. 发明人
分类号 B24B;B24B1/00;B24B37/04;B24B53/007;B24B57/02;H01L21/321 主分类号 B24B
代理机构 代理人
主权项
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