发明名称 VERTICAL FIELD EFFECT TRANSISTORS INCORPORATING SEMICONDUCTING NANOTUBES GROWN IN A SPACER-DEFINED PASSAGE
摘要
申请公布号 IL177126(D0) 申请公布日期 2006.12.10
申请号 IL20060177126 申请日期 2006.07.27
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人
分类号 B82B;H01L21/78;H01L27/28;H01L51/30 主分类号 B82B
代理机构 代理人
主权项
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