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发明名称 INSULATING FILM FORMING METHOD AND INSULATING FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100656003(B1) 申请公布日期 2006.12.08
申请号 KR20000055283 申请日期 2000.09.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;H01L21/00;H01L21/31;H01L21/3105;H01L21/312;H01L21/314 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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