| 发明名称 |
PROCEDE DE NETTOYAGE PAR VOIE HUMIDE D'UNE SURFACE NOTAMMENT EN UN MATERIAU DE TYPE SILICIUM GERMANIUM. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2864457(B1) |
申请公布日期 |
2006.12.08 |
| 申请号 |
FR20030051239 |
申请日期 |
2003.12.31 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE;STMICROELECTRONICS SA |
发明人 |
ABBADIE ALEXANDRA;BESSON PASCAL;SEMERIA MARIE NOELLE |
| 分类号 |
B08B3/08;H01L21/304;B08B3/12;C11D7/08;C11D11/00;C23G1/02;C30B33/00;H01L21/306 |
主分类号 |
B08B3/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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