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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung und zum Schleifen von Siliziumscheiben
摘要
申请公布号 DE19626396(B4) 申请公布日期 2006.12.07
申请号 DE1996126396 申请日期 1996.07.01
申请人 MITSUBISHI MATERIALS SILICON CORP.;MITSUBISHI MATERIALS CORP. 发明人 TANAKA, KEIICHI;KAGAYA, OSAMU;HATANAKA, TORU
分类号 B24B7/17;H01L21/304;B24B1/00;B28D1/00;B28D1/22;B28D5/00 主分类号 B24B7/17
代理机构 代理人
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