发明名称 |
Apparatus and method for coating a substrate |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2006254452(A1) |
申请公布日期 |
2006.12.07 |
申请号 |
AU20060254452 |
申请日期 |
2006.04.27 |
申请人 |
CORUS TECHNOLOGY BV |
发明人 |
GERARDUS GLEIJM;JOHANNES ALPHONSUS FRANCISCUS MARIA SCHADE VAN WESTRUM;LAURENT CHRISTOPHE BERNARD BAPTISTE |
分类号 |
C23C14/24;C23C14/22;C23C14/26 |
主分类号 |
C23C14/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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