Verfahren zur Analyse einer Festkörperprobe

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Analyse einer Festkörperprobe. Derartige Verfahren werden insbesondere zur Analyse der Materialzusammensetzung und Verteilung bzw. auf einer Festkörperoberfläche eingesetzt. DOLLAR A Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird die zu analysierende Oberfläche mit Cäsium zumindest teilweise und/oder bereichsweise bedeckt und die Oberfläche mit einem Analysestrahl, der überwiegend oder ausschließlich polyatomare Ionen mit mindestens 3 Atomen je Ione enthält, bestrahlt. Die erzeugten Sekundärionen werden auf Cäsium-Verbindungen analysiert.