发明名称 |
微型器件 |
摘要 |
谐振器(4,5)能够相对于基底(1)水平和垂直地振荡。谐振器(4)主要由固定地与基底(1)接触的支撑部件、包括与谐振器(5)接触的接触表面和与电极(7)接触的接触表面的可动部件、以及耦合支撑部件与可动部件的衔接部件构成。电极(6)置于谐振器(5)和谐振器(4)相间隔开的方向上。电极(7)置于谐振器(4)和谐振器(5)相间隔开的方向上。电极(9)被置于这样的位置,使谐振器(5)产生静电力,其方向与在谐振器(4)和(5)之间以及在谐振器(5)和电极(6)之间作用的吸引力的方向均不同。 |
申请公布号 |
CN1288068C |
申请公布日期 |
2006.12.06 |
申请号 |
CN03800683.9 |
申请日期 |
2003.01.16 |
申请人 |
松下电器产业株式会社 |
发明人 |
中西淑人;清水克人;矢吹博幸 |
分类号 |
B81B3/00(2006.01);H01H1/00(2006.01) |
主分类号 |
B81B3/00(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波;侯宇 |
主权项 |
1.一种微型器件,包括:两个精密结构的谐振器(4,5),设置来通过由于静电产生的吸引而相互接触;多个第一电极(6,7),适于对其施加电压(10,13);以及第二电极(8,9),在除所述谐振器(4,5)之间产生吸引的方向外和除所述谐振器(4,5)中每一个与所述多个第一电极(6,7)中相应的一个之间产生吸引的方向外的方向上,设置来与所述谐振器(4,5)中相应的一个产生吸引,其中所述微型器件设置来在所述谐振器(4,5)彼此接触时能够使信号通过,而在所述谐振器(4,5)分离时,通过所述谐振器(4,5)的信号则被中断,其特征在于,布置所述多个第一电极(6,7)并设置所施加的电压的极性,使得所述多个第一电极由于静电而产生与所述谐振器(4,5)的吸引以使所述谐振器(4,5)分离;以及设置所述微型器件来随着驱动频率改变所述第二电极(8,9)和所述谐振器(4,5)中相应一个之间的电容,且所述器件具有频率选择性。 |
地址 |
日本大阪府 |