| 发明名称 | 蒸发装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种蒸发装置，其目的在于向长度方向释出均匀的蒸镀物。该蒸发装置是通过通电至配置于长条的坩锅(10)的上部的电热加热器(12)，收纳于坩锅(10)内，且将设置于电热加热器(12)的下方的蒸发材料予以加热，而使气化的蒸镀材料从所通过的电热加热器(12)的开口释出。对于该坩锅(10)的外部施有金属涂层(25)，藉此，即可减少辐射至坩锅(10)的外部的热，且可以较高效率将电热加热器(12)所产生的热利用于蒸发材料的升温。因此，可使长条坩锅(10)内的加热得以有效率，且达到内部温度均匀化的目的。 | ||
| 申请公布号 | CN1288276C | 申请公布日期 | 2006.12.06 |
| 申请号 | CN200410037527.8 | 申请日期 | 2004.04.28 |
| 申请人 | 三洋电机株式会社 | 发明人 | 远藤铁郎;岩濑博俊;加藤晴三;落合真世 |
| 分类号 | C23C14/26(2006.01) | 主分类号 | C23C14/26(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 程伟;王初 |
| 主权项 | 1.一种蒸发装置，包括：上部开放且收容蒸发材料的细长的长条坩锅；以及覆盖前述长条坩锅的上部开放部，且利用通电而发热，将前述长条坩锅内的前述蒸发材料加热，并具备用于使由于加热而气化的前述蒸发材料通过的开口的电热加热器，其特征为：对于前述长条坩锅的外面施以金属涂层。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||