发明名称
摘要
申请公布号 JP3853039(B2) 申请公布日期 2006.12.06
申请号 JP19970261979 申请日期 1997.09.26
申请人 发明人
分类号 B28D7/04;H01L21/304 主分类号 B28D7/04
代理机构 代理人
主权项
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