发明名称 在基材上形成图案化的层的方法
摘要 一种通过软性平版印刷图案化工艺在基材(24)上形成图案化的自组装单层(20)的方法,该方法包括:a)提供限定所述图案化的自组装单层(20)的所需图案的图案化器件(10);b)在所述基材(24)的表面(22)上形成自组装单层(20);c)将所述图案化器件(10)施加到所述基材(24)的所述表面上,对所述图案化器件(10)进行配置以将改性剂输送到所述基材表面的选定区域中,所述选定区域相应于所述所需图案或其负性图案,所述改性剂包含化学品并且对其进行配置以在所述选定区域改变所述自组装单层(10)的分子与所述基材(24)的所述表面之间的相互作用强度;和d)选择性除去或替换所述自组装单层(20)的区域,所述区域在步骤(c)之后在其分子与所述基材的所述表面之间显示出较低的相互作用强度,从而形成具有所需图案的自组装单层(20)。可对改性剂进行选择以降低或提高自组装单层的分子与基材的最上层表面之间的相互作用强度,如工艺所要求的那样。
申请公布号 CN1875321A 申请公布日期 2006.12.06
申请号 CN200480032181.0 申请日期 2004.11.01
申请人 皇家飞利浦电子股份有限公司 发明人 D·博丁斯基
分类号 G03F7/00(2006.01);B82B3/00(2006.01) 主分类号 G03F7/00(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 韦欣华;段晓玲
主权项 1.一种通过软性平版印刷图案化工艺在基材(24)上形成图案化的自组装单层(20)的方法,该方法包括:a)提供限定所述图案化的自组装单层(20)的所需图案的图案化器件(10);b)在所述基材(24)的表面(22)上形成自组装单层(20);c)将所述图案化器件(10)施加到所述基材(24)的所述表面上,对所述图案化器件(10)进行配置以将改性剂输送到所述基材表面的选定区域中,所述选定区域相应于所述所需图案或其负性图案,所述改性剂包含化学品并且对其进行配置以在所述选定区域改变所述自组装单层(10)的分子与所述基材(24)的所述表面之间的相互作用强度;和d)选择性除去或替换所述自组装单层(20)的区域,所述区域在步骤(c)之后在其分子与所述基材的所述表面之间显示出较低的相互作用强度,从而形成具有所需图案的自组装单层(20)。
地址 荷兰艾恩德霍芬