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发明名称 Chemical amplification type positive resist composition
摘要
申请公布号 EP1020767(B1) 申请公布日期 2006.12.06
申请号 EP20000100239 申请日期 2000.01.18
申请人 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED 发明人 UETANI, YASUNORI;INOUE, HIROKI
分类号 G03F7/039;G03F7/004 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
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