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发明名称 CHEMICAL MECHANICAL POLISHING OF FERAM CAPACITORS
摘要
申请公布号 EP1133792(A4) 申请公布日期 2006.12.06
申请号 EP19990962839 申请日期 1999.11.23
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 VAN BUSKIRK, PETER, C.;RUSSELL, MICHAEL W.;BILODEAU, STEVEN, M.;BAUM, THOMAS, H.
分类号 H01L21/302;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/321;H01L21/70;H01L21/768;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/105;(IPC1-7):H01L21/824;H01L21/476;H01L21/310 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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