导电复合陶瓷蒸发舟的生产方法

摘要

本发明涉及一种导电复合陶瓷蒸发舟的生产方法，其生产方法如下：先将颗粒为100～200目的原料粉体AlN 8～15％、TiB₂ 30～40％和BN 50～60％混和；将混合后的粉体干拌后，再和酒精混合并搅拌；将搅拌后的粉料加热以烘干粉料并去除粉料中的酒精；将粉料加入模具中，放入氩气气氛炉中加压、加热，冷却后制得导电复合陶瓷块，将导电复合陶瓷块进行切割和铣槽制得导电复合陶瓷蒸发舟。本发明的优点是制得的导电复合陶瓷蒸发舟密度高，有均匀的电阻，电阻率变化范围可从200～2000根据需要进行调节，使用寿命达到12～15小时，产品合格率达95％以上。

主权项

1、一种导电复合陶瓷蒸发舟的生产方法，包括如下步骤：(1)、将颗粒为100～200目的原料粉体以下列重量百分比混和AlN： 8～15％，TiB2： 30～40％，BN： 50～60％；(2)、将混合后的粉体干拌15～20分钟，再和酒精按粉料∶酒精＝1∶1.5～2的重量百分比混合并搅拌10～15小时；(3)、将混合搅拌后的粉料在60～70℃加热10～15小时，以烘干粉料并去除粉料中的酒精；(4)、将粉料加入模具中，放入氩气气氛炉中，温度为2100～2200℃，压力为40～45MPa，加热4～5小时，冷却后制得导电复合陶瓷块；(5)、将导电复合陶瓷块进行切割和铣槽制得导电复合陶瓷蒸发舟。