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发明名称
SOLUTION-VAPORIZATION TYPE CVD APPARATUS
摘要
申请公布号
KR100654400(B1)
申请公布日期
2006.12.06
申请号
KR20050020175
申请日期
2005.03.10
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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