发明名称 有机场致发光膜蒸镀用蒸镀源
摘要 本发明提供了可以补偿加热装置与蒸镀材料表面之间的间隔变化的、用于形成有机场致发光膜的蒸镀源。包括:容器,由上部板、侧壁和底构件构成;加热装置,对蒸镀材料提供热量;以及移动装置,根据探测装置的信号进行工作,移动加热装置,加热装置借助于移动装置向下移动,使得加热装置与蒸镀材料表面之间的间隔维持初始设定值。探测装置和加热装置设置在上部板上,移动装置包括:多个缸筒,使上部板上下移动;以及控制装置,接收探测装置的信号,当上部板与蒸镀材料表面之间的间隔比设定的间隔大时,使缸筒工作,沿侧壁向下移动上部板。
申请公布号 CN1873045A 申请公布日期 2006.12.06
申请号 CN200510068715.1 申请日期 2003.07.18
申请人 LG电子株式会社 发明人 金起范;金相大;韩允洙;卓润兴;金锡洲
分类号 C23C14/24(2006.01);C23C14/12(2006.01) 主分类号 C23C14/24(2006.01)
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 陆锦华;樊卫民
主权项 1.一种有机场致发光膜蒸镀用蒸镀源,借助于施加的电源进行加热,将热量传递到在其内部放置的蒸镀材料,使在内部生成的蒸镀材料的蒸气进行喷射,在基板表面形成蒸镀膜,其特征在于,由形成有蒸气放出开口的上部板、侧壁和底构件构成,上述蒸气放出开口与被蒸镀蒸镀膜的基板的宽度相同,或具有比基板宽度长的长度。
地址 韩国首尔