| 发明名称 | 扩散器和快速循环腔室 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种扩散器(200)和用来排放和/或泵吸气体的腔室。该扩散器(200)包括本体(202)、反射体(204)和一组叶片(210，212)。该本体(200)包括穿过中心部分的喷嘴并且在上侧具有曲面，以限定在该曲面上的敞开空间。该反射体(204)设置在该喷嘴上并且布置成能够将气体从该喷嘴反射进入在本体(202)内的敞开空间，同时使气流扩散。叶片(210，212)进一步将气流分成大致相等的部分。在该结构中，气流在喷嘴、反射体部分(204)以及在叶片(210，212)之间的本体(202)内的敞开空间内得以减速，从而气体以基本一致的低速流出该敞开空间。 | ||
| 申请公布号 | CN1288711C | 申请公布日期 | 2006.12.06 |
| 申请号 | CN02807535.8 | 申请日期 | 2002.03.21 |
| 申请人 | 拉姆研究公司 | 发明人 | 哈伦·I·哈尔西;戴维·E·雅各布 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);C23C16/44(2006.01);C23F4/00(2006.01);C30B35/00(2006.01);B01J3/02(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈坚 |
| 主权项 | 1、一种扩散器，包括：本体，其具有穿过中心部分的喷嘴，该本体在上侧具有曲面，以限定在该曲面上的敞开空间，其中该喷嘴布置成能够允许气体流过并在喷嘴内扩散；反射体，其设置在该喷嘴上并且布置成能够将气体从该喷嘴反射进入在本体内的敞开空间，同时使气流扩散，其中该喷嘴、反射体和敞开空间构造成能够使气流减速，从而气体以基本上一致的低速流出该敞开空间；以及一组叶片，该组叶片设置在本体的敞开空间内，从而将该敞开空间分割成一组扩散空间，以便气体基本上等量地流出每一个扩散空间。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||