| 发明名称 | 铁电体层的制造方法及电子设备的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种铁电体层的制造方法，在例如层叠型铁电电容器的铁电体层的制造方法中，可得到具有良好定向性的铁电体层。铁电体层的制造方法包括：利用气相法在基体的上方形成第一铁电体层(22)的工序；以及利用液相法在第一铁电体层(22)的上方形成第二铁电体层(24)的工序。 | ||
| 申请公布号 | CN1873926A | 申请公布日期 | 2006.12.06 |
| 申请号 | CN200610081030.5 | 申请日期 | 2006.05.19 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 木岛健 |
| 分类号 | H01L21/31(2006.01);H01L21/02(2006.01) | 主分类号 | H01L21/31(2006.01) |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 余刚 |
| 主权项 | 1.一种铁电体层的制造方法，包括：利用气相法在基体的上方形成第一铁电体层的工序；以及利用液相法在所述第一铁电体层的上方形成第二铁电体层的工序。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||