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发明名称 SURFACE PROFILE MEASURING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100654177(B1) 申请公布日期 2006.12.05
申请号 KR20000049223 申请日期 2000.08.24
申请人 发明人
分类号 G01B9/02;G01B11/00;G01B11/02;G01B11/24;G01B11/30 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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