发明名称 Micro pattern-forming method using base treatment in organic bottom anti-reflective coating process
摘要
申请公布号 KR100653977(B1) 申请公布日期 2006.12.05
申请号 KR20000036659 申请日期 2000.06.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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