VOLTAGE CONTRAST METHOD AND APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR INSPECTION USING LOW VOLTAGE PARTICLE BEAM,申请号KR19990064442-传众专利搜索

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发明名称	VOLTAGE CONTRAST METHOD AND APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR INSPECTION USING LOW VOLTAGE PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号	KR100653499(B1)	申请公布日期	2006.12.04
申请号	KR19990064442	申请日期	1999.12.29
申请人		发明人
分类号	H01L21/66;G01N23/00;G01Q30/02;G01Q30/04;G01R31/265;G01R31/305;G01R31/307;G06K9/78;H01J37/28	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
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