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发明名称 Menetelmä mikromekaanisten komponenttien valmistamiseksi
摘要
申请公布号 FI20050592(A) 申请公布日期 2006.12.04
申请号 FI20050000592 申请日期 2005.06.03
申请人 VALTION TEKNILLINEN TUTKIMUSKESKUS, 发明人 KIIHAMAEKI,JYRKI;KATTELUS,HANNU
分类号 B81B7/02;B81B;B81C1/00;G01P15/125;H03H3/007;H03H9/24 主分类号 B81B7/02
代理机构 代理人
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