曝光装置及图形形成方法

摘要

一种以雷射光相对玻璃基板扫描的曝光光学系统，直接在该玻璃基板上曝光功能性图形的曝光设备，在玻璃基板传送方向上雷射光扫描位置的前方具有摄像位置，撷取玻璃基板上预先形成黑色矩阵的画素影像的摄像装置，照明黑色矩阵的画素让摄像装置可以撷取影像的照明装置，检出摄像装置所撷取影像上的预设基准位置，以该基准位置作为基准控制雷射光照射开始或停止的控制装置。因此，可以提高功能性图形的对位精度同时抑制曝光设备的成本增加。