微机电感测元件之塑胶构装制程及其结构

摘要

本发明揭示一种微机电感测元件之塑胶构装制程及其结构，其制程包含：首先提供一载体，具有一表面。再提供至少一微机电感测元件，微机电感测元件具有一主动表面与一背面，且主动表面上具有一作用区域及复数个焊垫。续而进行光阻制程形成一牺牲层于作用区域上。再将该微机电感测元件黏结并电性连接于该载体表面上。接着形成至少一封胶体，其具有一表面使牺牲层的上表面暴露出来。最后以溶剂自然分解牺牲层，使微机电感测元件作用区域外露，以使作用区域与大气环境接触。