| 摘要 |
一种以清晰度测量高度之方法及装置，主要应用于覆晶基板上之大量微小锡球作高度差之检测；其装置包括：一摄像单元、一逻辑运算单元、及一演算处理单元，而其方法系利用摄像单元于垂直被测物之上视方向做细微精密少进性的移动，每一步进拍摄一张被测物之影像，即时将所拍摄之影像讯号传至逻辑运算单元，利用已定义出任意数量的被测物之表面区域及其基准面区域，作各区域之清晰度运算，再经由演算处理单元，于被测物表面区域及其基准面区域各找出影像最清晰之位置，利用高斯分布函数之分析可找出比步进解析度更精准之极值，可得知被测物之精准高度。 |
