透明电极及其制造方法

摘要

本发明提供一种不使用铟之透明电极，具有优异之耐硷性或湿热稳定性、且蚀刻性优越之透明电极。其系以氧化锌及氧化锡为主成份，电极端部之锥形角为30~89度之透明电极。相对于此透明电极中锌原子与锡原子之总量，锌原子之比例(Zn／(Zn＋Sn)，原子比)为0.5~0.9，甚为适合。