流体驱动装置及其制法

摘要

本发明之流体驱动装置系包括在一基板上之微流体通道，该微通道之表面具有经电浆改质之导流区，以及设置在该导流区附近之电湿效应阀。对该电湿效应阀通以电流，可以使该电湿效应阀对应位置之流体通道呈现亲水性，流经该区之流体即可以因阀表面上的表面能之作用，而流经该电湿效应阀。依此架构即可导引有机试剂在微通道内移动，而可在微通道内进行惧水的化学反应，例如DNA合成。本发明并揭示制作该微流体通道之方法。