质量分析装置及其使用方法

摘要

一种质量分析装置，系安装于处理室的壁部，分析存在于该处理室内的分析对象气体之质量分析装置，其特征为：具备：于向前述处理室安装时，被插入前述处理室内，测定每个前述分析对象气体中的气体成分的质量电荷比之分压的测定部、和在向前述处理室的安装时，位于前述壁部的外侧，操作前述测定部之操作部、和在向前述处理室的安装时，位于前述壁部的外侧，显示前述测定部的测定结果之显示部；将前述测定部与前述操作部与前述前述显示部相互接近而配设。