| 主权项 |
1.一种用于分别排放至少二种流体之流体排放装置,其包含一用于排放一第一流体的内部喷嘴以及一用于排放一第二流体的实质上共轴地设置之外部喷嘴。2.如申请专利第1项的流体排放装置,其中该内部喷嘴系被连接到至少一液体来源并连接到至少一气体来源。3.如申请专利第1项的流体排放装置,其中该外部喷嘴系在该喷嘴的开口系被该外部喷嘴的内壁与该外部喷嘴的外壁之间的一连接物所分隔,而以一具有开放之围成环状的剖面形状来排放一流体流。4.如申请专利第3项的流体排放装置,其中该外部喷嘴系在该喷嘴开口被分隔成至少二个该喷嘴之个别部分,而以至少二流体流来排放该第二流体。5.如申请专利第1项的流体排放装置,其中该外部喷嘴系可操作地连接到一液体来源。6.如申请专利第1项的流体排放装置,其中该外部喷嘴系可操作地连接到一真空来源。7.如申请专利第1项的流体排放装置,其具有一可操作地连接到一真空来源的吸取装置,该吸取装置包含环状地设置在该外部和内部喷嘴周围之吸取孔口。8.如申请专利第7项的流体排放装置,其在该外部喷嘴与该等吸取孔口之间具有一锐利边缘,该锐利边缘具有一小于90的角度。9.一种用于盘状物件之湿式处理装置,其包含有一如申请专利第1项的流体排放装置。10.如申请专利第9项之湿式处理装置,其进一步包含用于将一盘状物件沿着一实质上垂直于该盘状物件的主要表面之轴(Z)旋转的支持物。11.如申请专利第9项的湿式处理装置,其中该流体排放装置系藉着一用于该媒介臂之悬吊装置而位于一媒介臂上,因而使得该媒介臂可以在该进行处理时,可以进行横越该盘状物件的主要表面之运动。图式简单说明:第1图显示本发明的较佳具体例之的概要剖面图。第2图显示第1图在喷嘴开口附近的部分放大图。第3图显示沿着在第1图和第2图所显示的III-III线段之概要剖面图。 |
