光罩之改良结构

摘要

一种光罩之改良结构，主要系于复数光罩之对应位置上设有复数具不同透光率之遮敝部位，使各光罩相互叠置结合成一光罩组后，该复数遮敝部位可结合成一具不同透光率之预设灰阶遮敝部位，利用该灰阶遮敝部位对光线产生不同之遮敝效果，可达到不同之灰阶层次效果。

主权项

1.一种光罩之改良结构,其至少包括:一光罩组,系由复数光罩所叠置而成;一灰阶遮敝部位,系由复数具不同透光率之遮敝部位所组成,该复数遮敝部位系设置于该光罩组之各光罩上对应位置,使各光罩依预设定位叠置后,该复数遮敝部位可形成一具不同透光率之预设灰阶遮敝部位。2.如申请专利范围第1项所述之光罩之改良结构,其中各遮敝部位系相互重叠。图式简单说明:第1图系习见光罩之结构示意图。第2图系经光罩加工光阻后之产品侧视图。第3图系本创作之构造分解图。第4图系本创作之组合示意图。