发明名称 具有备援控制之制造系统及处理方法、用以控制异地备援处理的方法、用以储存执行前述处理方法之电脑程式的资讯储存媒体
摘要 一种具有备援控制之制造系统,其包括复数制造设备组及备援控制装置。其中该复数制造设备组之每一制造设备组具有其制造执行系统及复数用以处理在制品之制造机台。其中该备援控制装置,用以当该制造设备组之间进行备援时,撷取接受备援处理之在制品所具有的制程限制资料,并将之转送至提供备援处理之制造设备组的制造执行系统,使得提供备援处理之该制造设备组能够依据该制程限制资料进行备援处理。
申请公布号 TWI267716 申请公布日期 2006.12.01
申请号 TW093130360 申请日期 2004.10.07
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 倪正耀;钟益杰;张玲;林怡慧
分类号 G05B19/418(2006.01) 主分类号 G05B19/418(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼;颜锦顺 台北市大安区信义路4段279号3楼
主权项 1.一种具有备援控制之制造系统,其包括:复数制造设备组,其中每一制造设备组具有其制造执行系统及复数用以处理在制品之制造机台;以及备援控制装置,用以当该制造设备组之间进行备援时,撷取接受备援处理之在制品所具有的制程限制资料,并将之转送至提供备援处理之制造设备组的制造执行系统,使得提供备援处理之该制造设备组能够依据该制程限制资料进行备援处理。2.如申请专利范围第1项所述之具有备援控制之制造系统,其中该备援控制装置接受第一制造设备组提出备援开始讯息时,从该第一制造设备组之第一制造执行系统撷取接受备援处理该在制品对应之制程限制资料,并将该制程限制资料与该备援开始讯息传送至提供备援之第二制造设备组。3.如申请专利范围第2项所述之具有备援控制之制造系统,其中该备援控制装置接收该第二制造设备组完成备援处理时传送的备援完成讯息及更新后的制程限制资料,并将之转送给该第一制造设备组,使之据以更新该在制品的制程限制资料。4.如申请专利范围第1项所述之具有备援控制之制造系统,其中该制程限制资料为动态限制资料,其系随着在制品处理之进行而改变。5.如申请专利范围第4项所述之具有备援控制之制造系统,其中该制程限制资料为完成时间限制资料。6.如申请专利范围第4项所述之具有备援控制之制造系统,其中该制程限制资料为制程机台限制资料。7.如申请专利范围第4项所述之具有备援控制之制造系统,其中该制程限制资料为前馈/反馈限制资料。8.如申请专利范围第4项所述之具有备援控制之制造系统,其中该制程限制资料为污染限制资料。9.一种具有备援控制之处理方法,其适用于具有复数制造设备组及备援控制装置的制造系统,其中每一制造设备组具有其制造执行系统以控制其制造功能之执行,该方法包括;由第一制造设备组之第一制造执行系统接收备援开始讯息,其至少包含需要备援处理之在制品索引码、制程索引码及备援设备组识别码;依据该在制品索引码及该制造程序索引码,自该第一制造执行系统撷取第一制程限制资料;依据该备援设备组识别码将该开始备援讯息及该第一制程限制资料传送至第二制造设备组之第二制造执行系统;该第二制造执行系统完成备援执行,并发出备援完成讯息,其至少包含完成备援执行之在制品索引码及第二制造程序限制资料;该备援控制装置接收该第二制造执行系统发出之备援完成讯息;该备援控制装置将该备援完成讯息转送至该第一制造执行系统;以及该第一制造执行系统依据该备援完成讯息,更新该第一制程限制资料。10.一种用以控制异地备援处理的方法,该方法包括:接收第一制造执行系统传送之备援开始讯息,其至少包含需要备援执行之在制品索引码、制程索引码及备援设备组识别码;依据该在制品索引码及该制造程序索引码,自该第一制造执行系统撷取第一制程限制资料;依据该备援设备组识别码将该开始备援讯息及该第一制程限制资料传送至该第二制造设备组;接收该第二制造执行系统发出之备援完成讯息,其至少包含完成备援执行之在制品索引码及第二制造程序限制资料;以及将该备援完成讯息转送至该第一制造执行系统,使其能够据以更新该第一制程限制资料。11.如申请专利范围第10项所述之用以控制异地备援处理的方法,其中该制造程序限制资料为动态限制资料,其系随着在制品处理之进行而改变。12.如申请专利范围第11项所述之用以控制异地备援处理的方法,其中该制程限制资料为完成时间限制资料。13.如申请专利范围第11项所述之用以控制异地备援处理的方法,其中该制程限制资料为制程机台限制资料。14.如申请专利范围第11项所述之用以控制异地备援处理的方法,其中该制程限制资料为前馈/反馈限制资料。15.如申请专利范围第11项所述之用以控制异地备援处理的方法,其中该制程限制资料为污染限制资料。16.一种储存媒体,用以储存电脑程式,上述电脑程式可载入于电脑系统并且执行控制异地备援处理的方法,适用于具有复数制造设备组及备援控制装置的制造系统,其中每一制造设备组具有其制造执行系统以控制其制造功能之执行,该方法包括:接收第一制造执行系统传送之备援开始讯息,其至少包含需要备援执行之在制品索引码、制程索引码及备援设备组识别码;依据该在制品索引码及该制造程序索引码,自该第一制造执行系统撷取第一制程限制资料;依据该备援设备组识别码将该开始备援讯息及该第一制程限制资料传送至该第二制造设备组;接收该第二制造执行系统发出之备援完成讯息,其至少包含完成备援执行之在制品索引码及第二制造程序限制资料;以及将该备援完成讯息转送至该第一制造执行系统,使其能够据以更新该第一制程限制资料。17.如申请专利范围第16项所述之储存媒体,其中该制造程序限制资料为动态限制资料,其系随着在制品处理之进行而改变。18.如申请专利范围第17项所述之储存媒体,其中该制程限制资料为完成时间限制资料。19.如申请专利范围第17项所述之储存媒体,其中该制程限制资料为制程机台限制资料。20.如申请专利范围第17项所述之储存媒体,其中该制程限制资料为前馈/反馈限制资料。21.如申请专利范围第17项所述之储存媒体,其中该制程限制资料为污染限制资料。图式简单说明:第1图显示传统制造系统中制造作业执行的示意图。第2图显示依据本发明实施例之具有备援控制之制造系统的示意图。第3图显示依据本发明实施例控制异地备援处理方法的流程图。第4图显示依据本发明实施例备援开始讯息的资料结构。第5图显示依据本发明实施例储存没有及电脑系统之示意图。
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