溅镀靶及烧结体及利用这些制造之导电膜,以及有机EL元件及用于该元件之基板

摘要

制作一种烧结体，其系含有氧化铟、氧化锌、氧化锡中之一种以上之成分的溅镀靶，其特征为含有氧化铪、氧化钽、镧系氧化物及氧化铋中之一种以上之金属。此烧结体上贴上金属制厚板构成溅镀靶。利用此溅镀靶进行溅镀，在所定之基板上形成导电膜。此导电膜维持以往之透明性，实现较高之功函数。使用此导电膜时，可得到提高电洞之注入效率之EL元件等。