叠层基板、叠层基板之制造方法及其所制造之元件

摘要

一种叠层基板，其MgO基板与铱膜、铱膜与钻石膜间之各界面不易剥离，特别是具有大面积单结晶钻石膜的连续膜。一种至少具有单结晶MgO基板、该MgO基板上异质磊晶之铱(Ir)膜、及该铱膜上化学气相沉积的钻石膜之叠层基板，其特征为：前述铱膜之结晶性为对于利用波长λ＝1.54之X光绕射法进行分析的归属于铱(200)之2θ＝46.5°或2θ＝47.3°的绕射强度峰值之半峰全幅值(FWHM)，系为0.40°以下。