发明名称 半导体焊垫结构及其制造方法
摘要 一种半导体焊垫结构及其制造方法。此半导体元件包含于半导体基板上的积体电路上形成膜层。第一层包含一导电部分及一绝缘部分,接着于第一层上形成一第二层,包含相对应于第一层之导电部分的一导电部分,及相对应于第一层之绝缘部分的一绝缘部分。接着形成一焊垫于第一层及第二层上,使其位于第一层及第二层的导电部分及绝缘部分之上。接着于焊垫上形成一焊球,位于第一层及第二层之导电部分上。
申请公布号 TW200642065 申请公布日期 2006.12.01
申请号 TW095104448 申请日期 2006.02.09
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 曹佩华;黄传德;侯上勇;苏昭源;徐家雄
分类号 H01L23/485(2006.01);H01L21/60(2006.01) 主分类号 H01L23/485(2006.01)
代理机构 代理人 蔡坤财
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号