发明名称 用于矽电极组合表面污染移除之清洁方法
摘要 本发明揭示一种矽电极组合净化清洁方法及控制或消除电极组合焊接材料之可能的化学侵蚀之溶液,其包括氟化铵、过氧化氢、醋酸、选择性醋酸铵与去离子水。
申请公布号 TW200641190 申请公布日期 2006.12.01
申请号 TW094146390 申请日期 2005.12.23
申请人 蓝姆研究公司 发明人 任大星;石洪
分类号 C25F3/12(2006.01);H01L21/3065(2006.01) 主分类号 C25F3/12(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 美国