用于电镀槽而置入阳离子交换薄膜管之反向电极

摘要

一种在基材上电镀金属之方法及设备。本发明之一实施例提供一种电化学电镀基材之设备。该设备包含一流体槽，其系经配置以在其中留置电镀液，一阳极组件，配置在该流体槽中，一基材支撑构件，配置来支撑该基材并与该基材电性接触，以及一置入式反向电极组件，配置在该流体槽中。该置入式反向电极组件大致含有配置在一保护管中之反向电极。