| 摘要 |
本发明系提供具有优异涂布性，可显着抑制微细气泡的发生，而且所形成之抗反射膜可充分减低驻波效果，且相对于水及硷显影液之溶解性优异之形成抗反射膜用组成物。形成抗反射膜用组成物系含有，(A)2–(甲基)丙烯醯胺–2–甲基丙烷磺酸等所代表之含磺酸基丙烯醯胺衍生物与2,2,3,3,3–五氟丙基(甲基)丙烯酸酯等所代表之含氟烷基丙烯酸酯衍生物之共聚物(盐)，以及(B)在25℃及浓度0.1重量％之水溶液中表面张力为45mN／m以下之界面活性剂。094142330-p01.bmp094142330-p02.bmp |
