线上电子束测试系统

摘要

本发明揭示一种用于测试一大型基材上所形成之电子元件的方法及设备。于一实施例中，该设备系于至少一处理室中以一线性轴于基材上进行一测试，该至少一处理室尺寸略宽于欲测试基材之尺寸。由于较小尺寸及系统体积，清洁室空间及制程时间将得以最小化。