发明名称 |
用于终点及使用寿命侦测之诊断电浆感应器 |
摘要 |
本发明揭示一种电浆测量器件,其包含:资料感应器,其系用于测量电浆环境特性;以及诊断感应器,其系用于测量与该测量器件的功能完整性相关之特性。本发明之诊断感应器所报告的事件可解释为该测量器件之故障,其作为警告而需要操作者引起注意或介入,或者可在一预测演算法中用作资料来估计该器件之剩余可用寿命。藉由提供一种对指示在一电浆测量器件使用该器件期间中出现的错误或故障之事件进行侦测之能力,本发明使得该电浆测量器件所收集资料的完整性更加确定性而有把握。 |
申请公布号 |
TW200641372 |
申请公布日期 |
2006.12.01 |
申请号 |
TW095103611 |
申请日期 |
2006.01.27 |
申请人 |
安威佛科技公司 |
发明人 |
丹尼尔C 卡特;大卫W 马得森;李奥那多J 马汉尼 |
分类号 |
G01R31/26(2006.01);H01J37/32(2006.01);H01L21/66(2006.01) |
主分类号 |
G01R31/26(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
主权项 |
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地址 |
美国 |