发明名称 新颖的光敏性树脂组成物
摘要 本发明系关于一种光敏性树脂组成物,包含有:(a)至少一聚苯并恶唑前驱聚合物;(b)至少一化合物具备式VI其中,V系CH或N,Y系O或NR^3,其中R^3系H、CH3或C2H5,R^1与R^2每一者皆独立地为H、C1–C4烷基、C1–C4烷氧基、环戊基或环己基,或者R^1与R^2可融合形成一经取代或未经取代之苯环;以及(c)至少一溶剂;其中,式VI化合物在组成物中之存在量,于组成物涂布于基板上时,可有效抑制残余物形成,且经涂布基板随后经加工,以形成一影像于基板之上。本发明亦关于形成凸版图样之方法,以及使用该组成物之电子零件。
申请公布号 TW200640998 申请公布日期 2006.12.01
申请号 TW095110320 申请日期 2006.03.24
申请人 富士软片电子材料股份有限公司 发明人 波威尔;奈尼;麦特维N. 乔恩;派瑞
分类号 C08G73/22(2006.01);C08L79/00(2006.01);G03F7/039(2006.01);G03F7/038(2006.01);H01L21/027(2006.01) 主分类号 C08G73/22(2006.01)
代理机构 代理人 恽轶群;陈文郎
主权项
地址 美国