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经营范围
发明名称
聚合物移除剂
摘要
提供一种可用于自基材,例如电子装置,移除电浆处理后的聚合物残余物之组成物。另提供移除该等电浆处理后的残余物之方法及使用该等组成物制造积体电路之方法。
申请公布号
TW200641562
申请公布日期
2006.12.01
申请号
TW095107525
申请日期
2006.03.07
申请人
罗门哈斯电子材料有限公司
发明人
欧杰尔;罗丘斯基
分类号
G03F7/42(2006.01);H01L21/027(2006.01);H01L21/306(2006.01)
主分类号
G03F7/42(2006.01)
代理机构
代理人
洪武雄;陈昭诚
主权项
地址
美国
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