氧化铝管

摘要

〔课题〕防止发生绝缘破坏或污染封入气体，实现均匀的离子化〔解决手段〕准分子雷射10具备：氧化铝管1，其纯度为99.9重量%以上，密度为3.99公克/立方公分以上，气孔率未满0.3%，绝缘耐压15仟伏特/毫米以上，具有中空部1b；电晕放电用内侧电极2a，其系配置于氧化铝管1之中空部1b；及电晕放电用外侧电极2b，其系接触于氧化铝管1之外周面而配置者。