| 摘要 |
揭示用于在所欲媒体(例如光学记录或资料储存媒体)上复制无接缝浮雕图案(seamless relief pattern)的可耐久无接缝复制工具(durable seamless replication tool)。所揭示之制造该可耐久复制工具的方法，包括在支撑圆筒的内表面上制备记录基片，记录及产生基片中的浮雕图案，产生图案的可耐久负浮雕复图案，从处理室(processing cell)中取出所产生的可耐久工具套筒，并将工具套筒安装于架设夹具上。揭示用于制造这类无接缝复制工具的装置，包括用于在支撑圆筒之内表面上之感光层上记录所欲浮雕图案的系统。也揭示用于形成具有所欲浮雕图案之可耐久工具套筒的电沈积室。复制工具浮雕特征的临界尺寸可降至微米及奈米的范围。 |
