具有最佳热膨胀系数之积体薄膜电容

摘要

一种方法，包含：沈积一胶体悬浮液于一基材上，该胶体包含一数量的陶瓷材料之奈米微粒；及热处理该悬浮液，以形成一薄膜。一种方法，包含：沈积多数陶瓷材料的奈米微粒至基材整个表面上之预定位置；及热处理该多数奈米微粒，以形成一薄膜。一种系统，包含：一含有微处理机的计算装置，该微处理机经由一基材耦接至一印刷电路板，该基材包含至少一电容结构，形成在一表面上，该电容结构包含一第一电极、一第二电极及一陶瓷材料，安置于该第一电极与该第二电极之间，其中该陶瓷材料包含柱状晶粒。